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类金刚石薄膜的制备及影响折射率的因素分析
【机构】 西北工业大学材料科学与工程系；
【摘要】 <正>类金刚石薄膜是在研究底温底压气相合成金刚石薄膜的过程中发现的一种新型材料。自1971年问世以来,由于其具有类似于金刚石薄膜的许多性质:高硬度,耐磨损,化学性质稳定,耐腐蚀及附着性好等优点,引起各国科学家的注意。尤其是类金刚石薄膜独特的光学性质,折射率可调(n在1.7～2.3之间变化),并且它在0～50μm宽广的波段具有透明性的特点,使它刚以作光学器件的保护及成反射膜,更引起人们极大的兴趣。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部