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在天然金刚石(111)衬底上外延单晶的研究
【作者】 李胜华； 张志明； 蔡琪玉； 陈惠明； 庄志城； 林栋梁； 胡正伟； 葛传珍； 蒋树声； 闵乃本；
【机构】 上海交通大学； 南京大学固体微结构实验室；
【摘要】 <正>金刚石结构（111）面是原子尺度的光滑面,奇异面生长需通过二维成核,成核势垒大,外延有难度。本文采用热灯丝和微波等离子体CVD二种方法进行同质外延,热丝法的初步结果已有报道。微波等离子体CVD法丝率为2.45GH2,石英反应管内径为35mm,水平放置。反应气体为丙酮和氢气,丙酮含量为0.3—0.8vol%,气体总流量为100SCCM,反应压力为4—7KPa,微波功率约300W。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB321
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部