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HFCVD法分解含氧丙酮合成金刚石薄膜
【机构】 合肥工业大学应用物理系；
【摘要】 本文采用HFCVD方法,在丙酮、氧气和氢气系统下,用Si片作衬底沉积金刚石薄膜,Raman谱分析表明膜几乎不含石墨和非晶碳,当丙酮浓度为2.5vol%,混合气体中碳氧原子比为1.5时,生长速率约为1.5μm/h。讨论了碳氧原子比及衬底温度对金刚石薄膜质量的影响。
【关键词】 热丝化学气相沉积(HFCVD)；
金刚石薄膜；
丙酮；
碳氧原子比；
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部