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非掺杂、硼掺杂金刚石薄膜的气相合成及性质研究
【机构】 超硬材料国家重点实验室吉林大学原子与分子物理研究所；
【摘要】 <正>1引言金刚石是自然界中最硬的物质,并兼具多种优异的物理化学特性。自从Setaka等人建立了气相合成金刚石的CVD方法以来,金刚石的合成研究进入了一个新的历史阶段,尤其是气相方法便于薄膜材料的制备,从而为深入研究金刚石的物理化学性质,开发其新的应用领域创造了条件。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部