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压电双晶片直线微动马达研究
【作者】 董蜀湘； 李龙土； 桂治轮； 秦平； 周铁英； 张孝文；
【机构】 清华大学材料科学与工程系；
【摘要】 <正>1引言压电微动马达与致动器,由于它的高位移控制精度(小于μm),以及能量转换效率高,体积小,结构简单,已广泛的应用于STM中的探针驱动,计算机中的光盘驱动,光学系统自动调焦,以及新兴的纳米科学技术。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TM38
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部