节点文献
溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响
【机构】 电子科技大学材料科学与工程系；
【摘要】 <正>1引言近年来,随着声表面波器件在信号变换及传输领域的应用日益扩大,压电薄膜受到越来越多的重视。将ZnO、AlN两种薄膜材料复合起来,制作为层状结构,利用两层薄膜的界面耦合进行声表面波传输,可以获得高声速、高耦合系数的优良性能。本文对此种薄膜的制备工艺条件进行了探讨。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部