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ZnO/SnO2复合薄膜气敏器件的研究
【作者】 梁坚； 辛德瑗； 陆毅新； 胡真； 顾恩民； 张维新；
【摘要】 <正>1前言薄膜型金属氧化物半导体气敏器件近几年来发展很快,它具有体积小、结构简单、功耗低、响应快、灵敏度高、易采用半导体平面工艺集成化等优点。为了进一步改善其气敏性能,人们又研制发展出多层结构的复合薄膜器件。我们在这方面也进行了一些研究,开发出ZnO/SnO2复合薄膜气敏器件,并对其气敏特性进行了试验,发现了一种很新奇的现象。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部