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CF4/Ar/O2等离子体刻蚀Ba0．65Sr0．35TiO3薄膜
【作者】 张柏顺； 全祖赐； 章天金； 赵兴中； 郭涛； 潘瑞琨； 马志军； 江娟；
【机构】 湖北大学材料科学与工程学院； 武汉大学物理科学与技术学院；
【摘要】 <正>以气体流量速率比率为9/36/5的 CF4/Ar/O2作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀技术,对溶胶-凝胶法制备的 Ba0．65Sr0．35TiO3（BST）薄膜进行刻蚀。掠角 X 射线衍射的分析表明,刻蚀后的 BST 表面上附着有一无定形态的钝化层,而其
- 【会议录名称】 《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会论文摘要集
- 【会议名称】《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会
- 【会议时间】2007-08
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O611.3
- 【主办单位】中国硅酸盐学会