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SiC薄膜的MBE外延生长及其结构表征

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【作者】 徐彭寿； 刘金锋； 刘忠良； 王科范； 汤洪高；

【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室； 中国科学技术大学材料系；

【基金】 国家自然科学基金资助课题(批准号50572100)
  • 【会议录名称】 第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集
  • 【会议名称】第14届全国晶体生长与材料学术会议
  • 【会议时间】2006-11
  • 【会议地点】中国福建福州
  • 【分类号】O782;O76
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会
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