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光波导用硅基SiO2-ZrO2二元系统玻璃薄膜的制备

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【作者】 苏德亮钱国栋王智宇洪樟连王民权

【机构】 浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室

【摘要】 <正> 近年来,无机基有机复合光放大材料日益受到人们关注。SiO2-ZrO2二元系统玻璃具有良好的热稳定性和化学稳定性,折射率调控方便,红外传输系数高等特性,是研制平面光波导器件的一类重要候选材料。本文应用溶胶-凝胶技术,以正硅酸乙酯(TEOS)和丙醇锆Zr(Ⅳ)-propoxide为先驱体,为控制Zr(Ⅳ)-propoxide的水解速度,采用HAc作为螯合

【基金】 自然科学基金
  • 【会议录名称】 全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集
  • 【会议名称】全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议
  • 【会议时间】2004
  • 【会议地点】中国杭州
  • 【分类号】TB383
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会玻璃分会、中国硅酸盐学会特种陶瓷分会、中国硅酸盐学会特种玻璃分会、中国光学学会光学材料分会、浙江大学
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