PZT陶瓷薄膜的后结晶过程及其对性能的影响

【作者】 龚文； 李敬锋； 褚祥诚； 桂治轮； 李龙土；

【机构】 清华大学材料与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室；

【摘要】 <正>微机电系统（MEMS）是当前研究十分活跃的领域之一,其应用也在不断取得新的进展。传感器和驱动器是实现MEMS技术的两类重要的部件,一般由使用压电材料集成,压电陶瓷薄膜技术是制备MEMS传感器和驱动器的核心。铁电陶瓷,尤其是那些具有ABO₃钙钛矿结构的材料有着很高的压电常数。其中锆钛酸铅(PbZr_1-xTi_x,PZT)体系因为它优良的压电性能和介电性能得到了最为广泛的应用。对于PZT的薄膜材料来说,其高度的取向性成为决定材料压电性能的关键因素。对于常更多还原