高能量密度脉冲等离子枪在陶瓷刀具上沉积高硬耐磨涂层研究

【作者】 苗赫濯； 彭志坚； 吴冰； 杨思泽； 刘赤子； 齐龙浩；

【机构】 清华大学材料系； 中国科学院物理研究所；

【摘要】 <正>切削加工是工业生产中最基本、最普遍、最重要的手段之一,它直接影响工业生产的效率、成本和能源消耗。随着生产的发展和技术的进步,高硬高强钢用于制造各种机械设备基础零部件越来越普遍,普通刀具难以满足其高速切削的使用要求,解决的重要途径之一是在刀具上沉积高硬耐磨涂层。薄膜淀积技术很多,常用的刀具薄膜淀积技术物理气相淀积(PVD)和化学气相淀积(CVD)各有优缺点。实验中采用中国科学院物理所自主开发的高能量密度脉冲等离子体技术,于室温更多还原