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镀TiN镀膜处理对不锈钢管道真空室PSD影响实验研究
【作者】 王勇； 张耀锋； 尉伟； 王建平； 范乐； 蒋道满； 朱存宝； 张波； 刘祖平；
【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；
【摘要】 <正>镀 TiN 薄膜处理是减小真空室光致解析(PSD)的有效方法。为了改善真空室的 PSD 性能,文中对不锈钢管道真空室进行了镀 TiN 薄膜实验。镀 TiN 薄膜实验采用内置靶直流反应溅射镀膜的方法,在较短时间内对真空室进行符合要求的镀 TiN 薄膜处理。为了检验镀膜处理的效果,在真空室光致解析性能的测试装置上,进行
- 【会议录名称】 第三届全国加速器技术学术交流会论文摘要集
- 【会议名称】第三届全国加速器技术学术交流会
- 【会议时间】2007-09
- 【会议地点】中国浙江杭州
- 【分类号】TL503.7
- 【主办单位】中国核学会粒子加速器学会