清洁、大流量真空差分系统的研制

【作者】 蒙峻； 杨晓天； 张素平； 储继国；

【机构】 中国科学院近代物理研究所； 深圳大学；

【摘要】 <正>兰州重离子加速器（HIRFL）的超重反冲核实验装置在工作的时候,需要注入100Pa 的氦气作为支撑气体,与之相连的 HIRFL 后束运线真空系统的真空度为 10^-5～10^-6pa,中间有7～8个数量级的真空过渡。由于束流通道较大,系统在高压强时的气体负载很大。与该系统相连的束运线又与重离子冷却储存环（CSR）相通, CSR 真空系统不但要求10^-9pa 以上的真空度,而且是一个洁净的全无油系统。因此,更多还原