【作者】 吴勇； 庄奕琪； 杜磊； 魏文彦；

【Author】 Yong Wu Zhuang Yiqi Du Lei Wei Wenyan (School of Microelectronic of Xidian University, Xi’an 710071: School of Technical Physics of Xidian University, Xi’an 710071; China Aerospace Times Electronics Corp. NO.771 Research Institute, Xi’an 710054)

【机构】 西安电子科技大学微电子学院； 西安电子科技大学技术物理学院； 中国航天时代电子公司第771研究所；

【摘要】 薄膜电阻器件的低频有色噪声是器件内部微观结构影响的缩影,承载了大量的与器件结构和工艺水平相关的信息,往往能够反映器件的内在质量和可靠性的优劣。本文给出了薄膜电阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用的技巧和注意事项,还讨论了探针接触噪声对测试结果的影响,对正确的噪声信号采集和器件可靠性评估有重要意义。更多还原

【Abstract】 Low frequency noise of thin-film resistor is the epitome of effect on micro-structure in device, it takes great deal of information associate with technics level and with which we can estimate the quality and reliability too. The low frequency noise measurement methods and skills especially low-resistance device and bare thin-film chip’s are discussed in detail.更多还原