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芯片上的气象站

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【作者】 黄庆安

【机构】 东南大学MEMS教育部重点实验室

【摘要】 <正> 首先给出了我们实验室提出的芯片上的气象站概念。芯片上的气象站是可以检测环境温度、湿度、气压、风速、风向等气象参数的一种集成系统。其次,介绍了实现芯片上的气象站的技术路径-CMOS MEMS技术。再次,给出了我们实验室采用CMOS MEMS技术实现的温度、湿度、气压、风速、

  • 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2005论文摘要集(下)
  • 【会议名称】中国力学学会学术大会’2005
  • 【会议时间】2005-08
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】P415.1
  • 【主办单位】中国力学学会、北京工业大学
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