短脉冲激光加热多层金属薄膜的温度分布

【作者】 徐红玉； 张元冲； 宋亚勤； 陈殿云；

【机构】 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室； 河南科技大学建筑工程学院；

【摘要】 <正> 微/纳米技术的发展,使得功能结构系统集成程度越来越高,器件尺寸也随之越来越小,尤其MEMS、微传感器及微执行器的飞速发展,器件的特征尺寸已进入到纳米量级。在微器件制作中具有定位准确、低能耗、高精度等等独特优势的激光技术也在快速发展,激光脉冲持续时间已达到皮秒及至飞秒量级。然而,随着器件空间和时间尺度的减小,实验观察发现器件在微尺度条件下的某些材料性能与其在常规尺度条件下的材料性能之间有显著的差异,并且这些差异对微器件的工程应用更多还原