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微结构中毛细效应的实验分析
【机构】 天津大学机械学院； 天津大学电子信息学院；
【摘要】 <正> 用实验的方法研究了多孔硅薄膜中的毛细效应及其对残余应力的影响,通过X射线衍射技术和微拉曼光谱技术定量地测量和分析了残余应力的演化发展和毛细效应的影响,发现在湿化、干化和再湿化的循环过程中,可逆的毛细效应和不可逆的氧化效应是这种变化发展的驱动力。通过电化学腐蚀法得到具有一定孔隙率的纳米多孔硅样品,在从湿化、干化到再次湿化的循环过程中,采用具
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2005论文摘要集（上）
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2005
- 【会议时间】2005-08
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O363.2
- 【主办单位】中国力学学会、北京工业大学