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静电场中柔性结构的变形研究
【机构】 北京大学力学与工程科学系；
【摘要】 本文探讨了MEMS技术的一个基本问题:柔性结构在静电场作用下的变形问题。用边界元方法(BEM)求解静电场问题,结合有限元方法(FEM)来求解这种机电耦合问题。结合典型问题给出了数值模拟结果。
【基金】 教育部重点项目;国防科技重点实验室基金
- 【会议录名称】 计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集
- 【会议名称】中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会
- 【会议时间】1999-07
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】O342
- 【主办单位】大连理工大学工程力学系