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128元高速InSb线列焦平面探测器
【机构】 中国科学院上海技术物理研究所；
【摘要】 本文主要介绍一种具有精确控制光敏面尺寸,高速运行128元锑化铟中波红外探测器组件。讨论了器件研制工艺中精确限制光敏面尺寸的实现,以及成像扫描机构的设计。最后介绍了器件的扫描热图像。
- 【会议录名称】 第十届全国光电技术学术交流会论文集
- 【会议名称】第十届全国光电技术学术交流会
- 【会议时间】2012-06-12
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN215
- 【主办单位】中国宇航学会