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LMBE制备TiO2薄膜的性能研究
【作者】 邢晓； 王文军； 李淑红； 刘云龙； 张栋； 史强； 高学喜； 张丙元；
【机构】 山东省光通信科学与技术重点实验室,聊城大学物理科学与信息工程学院；
【摘要】 采用激光分子束外延(LMBE)的方法在玻璃衬底上制备了二氧化钛薄膜,研究了制备温度和氧压对薄膜表面形貌、晶体结构和光学性能的影响。结果表明:二氧化钛薄膜的折射率随着温度的升高而增大,随着氧压的增大先增大后减小。薄膜在制备温度低于300℃时都为非晶态结构,在300℃时出现了板钛矿晶相,制备温度升高到500℃时,薄膜仍为板钛矿晶相。通过AFM图分析得出:随着基片温度的升高,二氧化钛薄膜的致密度增大,粗糙度增加;随着氧压的增大,致密度减小。随着温度的升高。二氧化钛薄膜的带隙变窄;随着氧压的增大,带隙变宽。
- 【会议录名称】 第十届全国光电技术学术交流会论文集
- 【会议名称】第十届全国光电技术学术交流会
- 【会议时间】2012-06-12
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN304.055
- 【主办单位】中国宇航学会