Mo-C-S梯度复合薄膜的制备与表征

【作者】 王松； 岳文； 付志强； 王成彪； 刘家浚；

【机构】 中国地质大学(北京)工程技术学院； 中国地质大学(北京)国土资源部深部地质钻探技术重点实验室； 清华大学机械工程系；

【摘要】 根据理想摩擦表面模型优化固体润滑薄膜表面模型,利用离子束辅助沉积结合低温离子渗硫设计制备了Mo-C-S复合固体润滑膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、谱仪(Raman)、纳米硬度计(Nano-indenter)、俄歇电子能谱(EDS)和摩擦磨损试验机考察了薄膜的组织结构与性能。结果表明:所制备的薄膜是具有硬质亚表层支撑软质易滑移表层的Mo-C-S符合梯度薄膜。薄膜的纳米硬度和摩擦磨损性能较单层薄膜具有很大的提高,纳米硬度可达18GPa,干摩擦下的摩擦系数最低达到0.016。分析认为:薄膜结构与组成的优化是薄膜性能提高的主要原因。更多还原