节点文献
MPCVD金刚石的研制及其应用研究
【作者】 丁明清； 李莉莉； 杜英华； 陈波； 李力； 董芮彤； 冯进军； 胡银富； 蔡军；
【机构】 北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家实验室；
【摘要】 本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究。讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果。最后介绍了金刚石在短毫米波TWT中初步应用进展。
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会论文集（下册）
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
- 【会议时间】2013-08-22
- 【会议地点】中国安徽黄山
- 【分类号】TN304.055
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、大功率微波电真空器件技术国家级重点实验室