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硅尖阵列电泳法淀积金刚石微粉及其场发射特性研究
【机构】 西安交通大学电信学院微电子工程系；
【摘要】 本文介绍了用电泳法在硅锥阵列上制备金刚石涂层的工艺及场发射实验结果,表明该阴极具有很好的场发射特性.
【基金】 中国博士后科学基金及国家自然科学基金资助项目
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会
- 【会议时间】1997-08-20
- 【会议地点】中国山东青岛
- 【分类号】P619.241
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会