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火山口式栅极微尖阵列场致发射三极管静电分析
【机构】 东南大学电子工程系；
【摘要】 <正>一、引言微尖阵列三极管静电特性和发射特性的计算机模拟和计算对微尖阵列场发射器件的设计、制备和特性测试具有十分重要的意义。由于Spindt型阴极的成功,大多数研究工作集中于Spindt型结构的计算,对于硅尖阵列阴极及其器件来说,实现与基底平行的栅极的制备,不仅工艺难度大,而且成本也高。近年来,为了简化工艺,许多学者开展了火山口式栅极微尖阵列场发射三极管的制备[1 2],但这方面的计算机模拟和计算却十分缺乏。文献[3]仅仅分
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第十届年会
- 【会议时间】1995-11-13
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN112
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会