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多层结构的银基透明导电薄膜及其热稳定性的研究

Ag-based multilayer transparent conductive films deposited by magnetron sputtering and their thermal stability

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【摘要】本文利用磁控溅射制备了ZnO/Ag/ZnO、AZO/Ag/AZO三层和AZO/LiF/Ag/LiF/AZO、AZO/Al/Ag/Al/AZO五层透明导电薄膜,该体系薄膜400-700nm的平均透过率在80%以上,方块电阻约5Ω/sq。相较于AZO/Ag/AZO薄膜,AZO/LiF/Ag/LiF/AZO薄膜在723K退火后方块电阻为5.7Ω/sq,而前者电阻显著上升(25Ω/sq)。这表明五层结构的薄膜有效提高了热稳定性,极有可能是LiF或Al层阻碍了Ag的扩散及团聚。更多还原

【Abstract】 The multilayer transparent oxide thin films of ZnO/Ag/ZnO,AZO/Ag/AZO and AZO/LiF/Ag/LiF/AZO,AZO/A1/Ag/A1/AZO were fabricated by magnetron sputtering,which have sheet resistance as low as 5 ohm/sq and high transmittance of more than 80%at 400-700nm with the optimum structure.Compared with three-layer films,five-layer films show better thermal stability contributed by the limitation function of interlayer on Ag aggregation and diffusion.更多还原

【关键词】透明导电薄膜；磁控溅射；退火；热稳定性；
【Key words】 transparent conducting film； magnetron sputtering； annealing； thermal stability；

【基金】国家自然科学基金(61275038);上海自然科学基金(项目号11ZR1411300);上海浦江人才基金(项目号:11PJ1402700);教育部博士点基金(项目号:20110076120017);SRF for ROCS,SEM资助

【会议录名称】第八届华东三省一市真空学术交流会论文集

【会议名称】第八届华东三省一市真空学术交流会

【会议时间】2013-10-18
【会议地点】中国安徽合肥
【分类号】TB383.2

【主办单位】安徽省真空学会

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