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一种电子碰撞型离子源性能的数值模拟研究
【机构】 兰州空间技术物理研究所；
【摘要】 电子碰撞离子源的聚焦和离子引出效率对其工作性能有着重要影响。本文采用SIMION-3D8.0软件建立了一种电子碰撞型离子源模型,计算了离子的运动轨迹,采用相空间分析方法,得到静电透镜聚焦处离子的位置聚焦半径和速度聚焦半径,分析了离子源各参数对聚焦和离子引出效率的影响。研究结果表明当S和α狭缝分别加负偏压时,离子束在运动过程中能够两次聚焦,从而得到很好的聚焦性能和引出效率,本文为离子源优化设计提供重要的理论依据和实验指导。
- 【会议录名称】 中国真空学会2012学术年会论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会2012学术年会
- 【会议时间】2012-09-21
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】TL503.3
- 【主办单位】中国真空学会(Chinese Vacuum Society)