便携式真空校准装置

【作者】 卢耀文； 陈旭； 李得天； 齐京； 查良镇；

【机构】 清华大学； 兰州物理研究所；

【摘要】 为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上,实现1×105～4×10-6Pa范围对真空计的校准。静态比对法的校准范围为1×105～5×10-1Pa,合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10-1～5×10-3Pa,合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3～4×10-6Pa,合成标准不确定度为3.7%～4.7%。装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40公斤,具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点。更多还原