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石英晶振激光减薄调频技术的研究
【机构】 浙江大学信电系；
【摘要】 <正>石英晶振的谐振频率在出厂前需要进行微调,使之达到需要的标称值。传统微调采用蒸发镀膜法,存在一致性和膜层可靠性差的问题。本研究把激光微加工技术应用于该领域,利用激光使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率升高到预期值。本文重点研究了激光器的工作电流和Q脉冲宽度对晶振频率微调的影响。
- 【会议录名称】 第六届华东三省一市真空学术交流会论文集
- 【会议名称】第六届华东三省一市真空学术交流会
- 【会议时间】2009-10-22
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN752.2
- 【主办单位】上海市真空学会、江苏省真空学会、安徽省真空学会、浙江省真空学会