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高真空磁控溅射法沉积铀薄膜

Study of uranium thin film prepared by high vacuum magnetron-sputtering method

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【作者】 陈秋云赖新春黄火根罗丽珠蒋春丽谭世勇

【Author】 CHEN Qiu-yun LAI Xin-chun HUANG Huo-gen LUO Li-zhu JIANG Chun-li TAN Shi-yong (National Key Laboratory for Surface Physics and Chemistry,P.O.Box 718-35,Mianyang,Sichuan,P.R. China)

【机构】 表面物理与化学国家重点实验室

【摘要】 利用高真空磁控溅射法制备了铀薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM)对制得薄膜的表面形貌进行观察,利用X射线光电子能谱仪(XPS)及X射线衍射仪(XRD)对薄膜的表面结构及表面元素状态进行分析和表征。结果表明该法制得的U薄膜比较致密、连续。

【Abstract】 Uranium thin films were prepared by high vacumm magnetron-sputtering method.Surface morphology of U thin films were observed by SEM.The surface structure and element conditions were analysed and characterized by XPS and XRD.The results show that uranium thin films are very dense and continous.

【关键词】 铀薄膜磁控溅射表征
【Key words】 Uranium thin filmmagnetron-sputteringcharacterization
  • 【会议录名称】 第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集
  • 【会议名称】第九届真空冶金与表面工程学术会议
  • 【会议时间】2009-08-24
  • 【会议地点】中国辽宁沈阳
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国真空学会真空冶金专业委员会(Vacuum Metallurgy Committee of Chinese Vacuum Society)、沈阳市真空学会(ShenYang Vacuum Society)
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