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蓝宝石衬底上外延生长MgO薄膜过程中的应力研究
【机构】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；
【摘要】 <正>MgO薄膜以其可在低温下实现外延生长,具有很好的热稳定性与化学稳定性,优良的界面性能及电学性能等特性,常被作为诱导多元氧化物功能薄膜的缓冲层材料,对其异质外延过程中应变行为及其控制方法的研究愈加备受重视。MgO薄膜通过激光分子束外延(LMBE)一反
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会