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直流磁控溅射法镀TiZrV薄膜的实验研究
【作者】 王勇； 张波； 尉伟； 王建平； 范乐； 李为民；
【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；
【摘要】 <正>采用直流磁控溅射法,氩气作为放电气体,在不锈钢管道内壁成功制备了TiZrV吸气剂薄膜,并分别利用能量弥散X射线谱(EDX)和X射线光电子能谱(XPS)测量薄膜的成分组成,扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,X射线衍射仪(XRD)研究薄膜的微观结构,结果表明
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会