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离子束溅射制备Sb2Te3热电薄膜
【机构】 深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所深圳市传感器技术重点试验室；
【摘要】 <正>本文采用离子束溅射技术交替沉积Sb-Te-Sb多层薄膜后进行高真空热处理,直接制备Sb2Te3薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、霍尔系数测试仪、台阶仪、EDXS以及自制的薄膜Seebeck系数测量系统对所制备的薄膜的特性进行表征。台阶仪和EDXS测量结果分别表明薄
【基金】 深圳市传感器技术重点试验室开放基金(SST200901)
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会