薄膜无源集成技术及其应用

【作者】 杨传仁； 张继华； 娄非志； 余为国； 莫尚军； 张琴； 陈宏伟；

【机构】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；

【摘要】 <正>随着电子系统向体积更小、速度更快、功能更多、性能更强的方向发展,电子元器件的集成化和多功能化已经成为当前和未来电子系统的必由之路。同时,伴随着元器件的模块化、标准化,整机技术含量越来越低(所以山寨机流行),但对元器件提出了更高的要求。因此,目前电子产品的技术正向元器件转移。目前可用的集成无源元件技术有3大类,分别是薄膜技术、更多还原