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纳米多层薄膜性能及其应用
【机构】 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室材料科学与工程学院；
【摘要】 <正>TiN、TiO2、CrN及类金刚石（DLC）等陶瓷薄膜等具有优异的力学性能,广泛应用于提高齿轮、轴、刀具等结构零件、工具等的寿命。TiN、TiO2、CrN及类金刚石（DLC）等陶瓷薄膜同时具有良好的化学稳定性及耐腐蚀性,可以大幅度提高基体材料的耐腐蚀性。但是,研究表
【基金】 国家自然科学基金(10876030)项目;国家高技术研究发展计划(2006AA02A135)资助
- 【会议录名称】 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-08-15
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会