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四极质谱计在高压力下的测量方法
【作者】 卢耀文；
【机构】 兰州物理研究所；
【摘要】 四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10-3Pa。本文通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
- 【会议录名称】 第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会摘要及论文集
- 【会议名称】第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会
- 【会议时间】2007-09-15
- 【会议地点】中国甘肃敦煌
- 【分类号】TH843
- 【主办单位】中国真空学会质谱分析与检漏专委会、中国计量测试学会真空测量专委会