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渗氦型真空漏孔漏率的温度修正
TEMPERATURE CORRECTION TO LEAKAGE RATE OF HELIUM PERMEATION LEAK
【Author】 ZHAO Lan,ZHANG Di-xin,GUO Mei-ru,FENG Yan (Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou 730000,China)
【机构】 兰州物理研究所;
【摘要】 由于石英的渗透系数与温度成指数函数关系,因此渗氦型真空漏孔对温度非常敏感,在使用时需要对漏孔校准值进行温度修正。本文通过对一支渗氦型真空漏孔在16℃~40℃温度范围内的漏率校准,给出了漏率随温度变化的两种修正方法—指数修正法和线性近似修正法,以及两种方法的修正结果。
【Abstract】 Since the permeability of glass is an exponential function of temperature,permeation leaks are very sensitive to temperature,a correction should always be made in the calibration value for the operating temperature relative to its calibration temperature.In this paper,a helium permeation leak was calibrated in the range of temperature form 16℃to 40℃,exponential correction method and linear approximation correction method and their results are presented.
- 【会议录名称】 第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会摘要及论文集
- 【会议名称】第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会
- 【会议时间】2007-09-15
- 【会议地点】中国甘肃敦煌
- 【分类号】TB774
- 【主办单位】中国真空学会质谱分析与检漏专委会、中国计量测试学会真空测量专委会