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LP-MOVPE外延中红外量子级联激光器有源区材料关键技术
【机构】 中科院半导体研究所半导体材料重点实验室；
【摘要】 <正>量子级联激光器(QCLs)自1994年初在bell labs由J.Faist等人研制成功,验证了导带内电子在子带间跃迁发射光子理论的可行性。通过近20年众多科研工作者的不懈努力,QCLs在中红外波段成功实现了室温连续工作,THz波段的QCLs工作温度达到199.5 K。传统QCLs有源区由分子束外延设备(MBE)生长,随着MOVPE技术改进,可以生长出同MBE媲美的外延薄膜材料,加之单炉生长多片,准备工作周期短,使得
- 【会议录名称】 第十二届全国MOCVD学术会议论文集
- 【会议名称】第十二届全国MOCVD学术会议
- 【会议时间】2012-04-11
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN248
- 【主办单位】中国有色金属学会