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GaN MOCVD控制系统设计与研制
【作者】 冉军学； 王晓亮； 胡国新； 张露； 殷海波； 肖红领； 李晋闽；
【机构】 中国科学院半导体研究所；
【摘要】 本文对我们研制的MOCVD控制系统特点进行了介绍,通过设计实现了对MOCVD设备压力、流量、温度等关键参数的精确控制,开发了上位机手动控制软件和工艺配方自动控制软件,本控制软件系统经过MOCVD设备(七片机)的验证和长时间稳定运行,并制备出高质量的GaN蓝光LED结构材料,功能强大,操作简洁灵活,完全适合产业化设备应用。
- 【会议录名称】 第十一届全国MOCVD学术会议论文集
- 【会议名称】第十一届全国MOCVD学术会议
- 【会议时间】2010-01-13
- 【会议地点】中国江苏苏州
- 【分类号】TN304.055
- 【主办单位】中国有色金属学会