节点文献
7片2英寸氮化物MOCVD设备及材料研制
【作者】 冉军学； 胡国新； 肖红领； 殷海波； 张露； 王晓亮； 李晋闽；
【机构】 中国科学院半导体研究所；
【摘要】 MOCVD设备是半导体材料制备的关键设备,本文介绍了我们自主研发的一次可生长7片2英寸氮化物材料的MOCVD设备,用该设备进行了材料生长验证,外延出高质量的氮化物基单层材料和LED结构材料。
- 【会议录名称】 第十一届全国MOCVD学术会议论文集
- 【会议名称】第十一届全国MOCVD学术会议
- 【会议时间】2010-01-13
- 【会议地点】中国江苏苏州
- 【分类号】TN304.055
- 【主办单位】中国有色金属学会