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MOCVD与无机功能材料-研究实践30年
【机构】 中国科技大学固体化学与无机膜研究所； 中国科技大学物理系固体发光课题组；
【摘要】 <正>化学气相淀积(CVD)是一类制备无机功能材料及其器件的重要技术。可以说,没有CVD技术的广泛发展与应用,就没有今天的现代文明。现代科技的发展又促进了CVD科学与技术领域不断创新与开拓。CVD技术性创新主要遵循的方向包括,CVD源物质或先驱物(Precursors)的选择,源物质的
- 【会议录名称】 第十一届全国MOCVD学术会议论文集
- 【会议名称】第十一届全国MOCVD学术会议
- 【会议时间】2010-01-13
- 【会议地点】中国江苏苏州
- 【分类号】TB34
- 【主办单位】中国有色金属学会