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光学轮廓仪

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【作者】 高宏； 薛实福； 李庆祥； 严普强；

【机构】 清华大学精密仪器系；

【摘要】 本文提出了一种应用微分干涉原理的光学轮廓仪。由于采用了共光路干涉体系,仪器对机械振动等外界干扰不敏感,并且不需标准参考反射镜,在不采取任何隔振措施的一般实验室环境中,就能以优于1nm的重复测量精度对超光滑表面粗糙度进行测量。

  • 【会议录名称】 中国科学技术协会首届青年学术年会论文集（工科分册·上册）
  • 【会议时间】1992-04-01
  • 【分类号】TH74
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