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摩擦诱导纳米结构的溶液刻蚀研究
【机构】 四川省成都市西南交通大学摩擦学研究所；
【摘要】 随着纳米科技的迅速发展,纳米加工技术已经成为支撑纳米科技走向应用的关键因素。扫描探针技术具有加工成本低、精度高等优点,在微纳米加工领域具有广阔的应用前景。近年来,基于探针机械刻划及溶液刻蚀的无掩膜加工工艺的研究被越来越多的国内外学者所重视,极有可能发展成为一种纳米加工领域不可或缺的工艺方法。
- 【会议录名称】 2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集
- 【会议名称】青年摩擦学者与“十二五”发展——2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议
- 【会议时间】2011-04-22
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TB383.1
- 【主办单位】中国机械工程学会摩擦学分会青年工作委员会