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低温制备Cu(InxGa1-x)Se2薄膜Na对Ga扩散的影响
INFLUENCE OF Na ON Ga DIFFUSION IN LOW TEMPERATURE PROCESS OF Cu(InxGa1-x) Se2 PREPARATION
【作者】 姜伟龙； 张力； 何青； 李凤岩； 周志强； 刘玮； 李宝璋； 李长健； 孙云；
【Author】 Weilong Jiang,Li Zhang,Qing He,Fengyan Li,Zhiqiang Zhou,Wei Liu,BaoZhang Li,Changjian Li, Yun Sun (Institute of Photo-electronics,College of Information Technical Science,Nankai University,Tianjin 300071,China)
【机构】 南开大学信息技术科学学院光电子研究所；
【摘要】 在聚酰亚胺（PI）柔性衬底Cu(InxGa1-x)Se2（简称CIGS）薄膜的制备中,Na的掺入和Ga的扩散对于薄膜特性的提升都至关重要。本文研究在低温沉积CIGS薄膜过程中,Na元素对于Ga扩散的影响。X光衍射（XRD）分析发现,在前掺Na制备的CIGS薄膜中,存在表面高Ga而内部低Ga的现象;小角度X光衍射（GIXRD）分析显示,CIGS的衍射峰随着深度的增加而逐渐左移。这一现象在无Na的CIGS薄膜中并不存在。XRD对比分析显示,掺入的Na越多,这一现象越明显;薄膜Ga/（Ga+In）越高,这一现象越容易出现。一系列分析表明, Na对于Ga的扩散有阻碍作用。
- 【会议录名称】 第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代
- 【会议名称】第十届中国太阳能光伏会议
- 【会议时间】2008-09-19
- 【会议地点】中国江苏常州
- 【分类号】TM914.4
- 【主办单位】中国可再生能源学会、江苏省常州市人民政府、中国可再生能源学会太阳能光伏专委会