【作者】 于建秀； 赵雷； 周春兰； 李海玲； 刁宏伟； 任丙彦； 王文静；

【Author】 Yu Jianxiu~(1,2),Zhao Lei~1,Zhou Chunlan~1,Li Hailing~1,Diao Hongwei~1 Ren Bingyan~2,Wang Wenjing~1 (1.Group of Solar Cell Technology,Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China; 2.The college of materials,Hebei university of technology,Tianjin 300130,China)

【机构】 中国科学院电工研究所太阳电池技术研究组； 河北工业大学材料学院；

【摘要】 为获得高质量的透明导电薄膜,本文利用数值模拟计算,对制作在非晶硅/单晶硅(HIT)上的ZAO/Ag/ZAO复合透明导电膜的光学特性进行了优化设计。结果表明,在ZAO层的厚度为40 nm左右时可以得到最低的可见光反射率和最高的透过率。Ag层的加入尽管可以提高导电膜的导电性,但会增大对可见光的反射和吸收,对Ag层需要选择一个折衷厚度,以使对电池性能的改善最大化。在41 nm厚的两层ZAO之间插入5 nm厚的Ag,仍然可以保证600 nm左右的光的透过率大于85%。更多还原