轻量化碳化硅光学部件表面微观结构与光学性能

【作者】 杨勇； 蒋芳； 李丹； 刘桂玲； 黄政仁；

【机构】 中国科学院上海硅酸盐研究所；

【摘要】 大尺寸轻量化光学部件是高分辨率空间光学遥感器、大功率强光系统和大型天文望远镜的核心器件,光学部件性能对光学系统的性能起决定性作用。SiC材料具有高热导、高比刚度、高强度、高韧性、抗高能粒子辐射等优点。因此,同熔融石英或微晶玻璃相比,碳化硅光学部件能大幅度降低光学系统的重量。此外,碳化硅光学部件优良的热学性能使其在空间运行环境条件下能保持良好的面形稳定性、实现光学系统的稳定快速调节,最终提高整个空间光学系统的地面分辨率。正是由于独特的综合性能优势,碳化硅材料近二十年来已成为空间光学系统轻质光学部件的优选材料,使用轻量化碳化硅光学部件已成为空间光学遥感器和强光系统的发展趋势。而碳化硅坯体的表面微观结构决定了其光学性能,本文将探讨碳化硅坯体的表面微观结构和其光学性能的关系。更多还原