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半导体微/纳结构多孔薄膜的结构调控气敏特性及其器件
Structural Tunability of Gas-sensing Performance and Devices for the Semiconductor Micro/nanostructured Porous Films
【Author】 Lichao Jia,Weiping Cai~* Institute of Solid State Physics,Chinese Academy of Sciences,Hefei,230031.
【机构】 中国科学院固体物理研究所；
【摘要】 <正>半导体气敏传感器存在广泛的应用,由纳米单元构成的气敏薄膜及其器件已有许多的研究报道。然而,具有灵敏度高、响应速度快、结构稳定、选择性强、制作重复性好等性能的气敏传感器,一直是人们追求的目标。本文在概述半导体纳米结构气敏薄膜研究现状的基础上,着重介绍近年来我们在半导体微/纳结构多孔薄膜的结构调控气敏特性及其器件方面的工作进展,主要包括(1)半导体微/纳结构有序多孔薄膜的制备
- 【会议录名称】 第十二届固态化学与无机合成学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十二届固态化学与无机合成学术会议
- 【会议时间】2012-06-29
- 【会议地点】中国山东青岛
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国化学会、国家自然科学基金委员会