【作者】 郑捷； 杨容； 李伟； 李星国；

【Author】 Jie Zheng 1,Rong Yang 1,2,Wei Li 1,Xingguo Li 1 1College of Chemistry and Molecular Engineering,Peking University,No 202 Chengfu Road,Beijing,100871 2R&D Centre for Vehicle Battery and Energy Storage,General Research Institute for Nonferrous Metals,No.2 Xinjiekouwai Street,Beijing,100088

【机构】 北京大学化学与分子工程学院； 北京有色金属研究总院动力电池研究中心；

【摘要】 <正>本文以卤化物为气态前驱体,通过低温等离子体增强的化学气相沉积法在较低的沉积温度下制备得到了多种无机物纳米结构薄膜,包括单质、氧化物、氮化物、硫化物等,并实现了对其纳米尺度结构的调控。卤化物具有较高的蒸气压,是一类理想的气态前驱体,而低温等离子体提供了一种高化学反应活性,同时更多还原