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微纳薄膜的结构可控生长研究及光学特性分析
【机构】 中山大学光电材料与技术国家重点实验室；
【摘要】 多维结构的微纳薄膜,是指在二维或三维空间上具有多孔形貌的各向异性薄膜。在物理气相沉积的基础上,采用倾斜角沉积法,结合一定的基底运动方式并引入基底预结构,薄膜可实现二维或三维尺度的可控生长。
- 【会议录名称】 中国光学学会2011年学术大会摘要集
- 【会议名称】中国光学学会2011年学术大会
- 【会议时间】2011-09-05
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】O484.41
- 【主办单位】中国光学学会