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微纳结构薄膜生长蒙特卡罗模拟研究
【机构】 中山大学光电材料与技术国家重点实验室；
【摘要】 多维结构的微纳薄膜,其多孔且形貌可控的结构特点使之具有很多传统薄膜所没有的物理特性,可广泛应用于微纳光电器件领域。对微纳薄膜生长进行蒙特卡罗模拟研究,从微观尺度上探讨微纳薄膜生长机理,对于理解其生长过程,设计新型微纳薄膜器件具有重要的理论价值及应用意义。
- 【会议录名称】 中国光学学会2011年学术大会摘要集
- 【会议名称】中国光学学会2011年学术大会
- 【会议时间】2011-09-05
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国光学学会